设计基于静电MEMS的电子光学器件：螺旋相位板案例
仪器与探测器
2026-02-24 v1 光学
摘要
新一代微型化MEMS器件正在改变电子显微镜技术。这些器件允许对电子束进行不可用于传统电子光学的作业。如可调螺旋相位板和局部强相位梯度等前所未有的相位景观都已实现。本工作建立了基于MEMS相位板的设计与控制方法论。其设计策略基于对薄型电极的新型解析与数值模型，准确考虑薄型MEMS几何中边缘电场的主要作用。我们设计、制造并实验表征了一个螺旋相位板，评估了所生成涡旋束的质量，同时讨论了最关键的控制参数和设计方法。
引用
@article{arxiv.2602.19730,
title = {Designing electrostatic MEMS-based electron optics: the case of the spiral phase plate},
author = {Payam Habibdazeh Kavkani and Amir H. Tavabi and Paolo Rosi and Alberto Roncaglia and Enzo Rotunno and Luca Belsito and Sergio Sapienza and Stefano Frabboni and Rafal E. Dunin-Borkowski and Marco Beleggia and Vincenzo Grillo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2602.19730},
year = {2026}
}
备注
preprint, 24 pages, 8 figures