可编程相位板能否作为透射电子显微镜(TEM)中的像差校正器?
应用物理
2023-09-28 v2
摘要
可编程静电相位板的最新进展引发了关于其在特定应用中实用性的疑问。在此,我们探索此类相位板的不同设计,其具体目标为校正透射电子显微镜(TEM)中的球差。我们数值研究了相位板能否在传统的未校正 TEM 上提供低至 1 ngstr"om 的空间分辨率。评估了不同设计方面(填充因子、像素图案、对称性)以理解其对电子探针尺寸与电流密度的影响。一些 proposed 设计显示出低至 0.66 的探针尺寸(),证明使用由静电相移元件阵列构成的可编程相位板将球差校正至远超 1\AA 极限应当是可行的。
引用
@article{arxiv.2205.07697,
title = {Can a Programmable Phase Plate Serve as an Aberration Corrector in the Transmission Electron Microscope (TEM)?},
author = {Francisco Vega Ibáñez and Armand Béché and Johan Verbeeck},
journal= {arXiv preprint arXiv:2205.07697},
year = {2023}
}