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物理相位板对像差校正透射电子显微镜中衬度传递的影响

材料科学 2010-09-22 v1

摘要

在这项理论研究中,我们分析了配备有成像透镜系统像差校正器(Cs校正器)和物镜后焦面物理相位板的透射电子显微镜中弱相位物体的衬度传递。对于由物理相位板引起的散射电子与非散射电子之间的π/2\pi/2相位移动,正弦型相位衬度传递函数转换为余弦型函数。如果物镜离焦和透镜像差引起的相位移动为零,理论上可以实现最佳成像条件。实际上,由于残余像差以及通常由不均匀样品表面形貌引起的非零局部离焦值变化,这种情况难以实现。我们探索了最有利衬度传递的条件(即Cs值和离焦范围),作为信息极限的函数,该信息极限仅受Cs校正透射电子显微镜中电子波部分相干效应的影响。在高分辨操作条件下,我们发现,与没有相位板的显微镜相比,物理相位板显著改善了低分辨和中分辨的物体衬度,同时提高了对离焦和Cs变化的容忍度。

关键词

引用

@article{arxiv.1009.4038,
  title  = {Effect of a Physical Phase Plate on Contrast Transfer in an Aberration-Corrected Transmission Electron Microscope},
  author = {B. Gamm and K. Schultheiß and R. R. Schröder and D. Gerthsen},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1009.4038},
  year   = {2010}
}