利用(Ti,Zr)2AlC复合靶沉积含MAX相薄膜
材料科学
2023-06-22 v3
摘要
本文报道了以复合(Ti,Zr)2AlC靶进行溅射沉积的工作，由此在500至900 {\deg}C的温度范围内于MgO(111)和Al2O3(0001)衬底上沉积了含Al的(Ti,Zr)C薄膜（厚度30-40 nm）。晶格参数的变化证实了碳化物结构中存在Al。此外，化学分析表明Al沿膜厚的分布相当均匀。由同一复合靶沉积的较厚薄膜（80-90 nm）在高达800 {\deg}C时由伪二元(Ti,Zr)C和Ti-Zr-Al系金属间化合物组成，而在900 {\deg}C时则形成具有不同Ti:Zr比的固溶体MAX相。X射线衍射和透射电子显微镜显示形成了(Ti,Zr)2AlC和(Ti,Zr)3AlC2固溶体MAX相。此外，本文讨论了较厚薄膜的生长机制：起初形成混合(Ti,Zr)C碳化物，随后铝化物形核与生长，最终形成MAX相，这也是溅射沉积的主要目标。
引用
@article{arxiv.1909.04097,
title = {Deposition of MAX phase containing thin films from a (Ti,Zr)2AlC compound target},
author = {Clio Azina and Bensu Tunca and Andrejs Petruhins and Binbin Xin and Melike Yildizhan and Per O. Å. Persson and Jozef Vleugels and Konstantina Lambrinou and Johanna Rosén and Per Eklund},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.04097},
year = {2023}
}