利用深紫外光刻技术制备光纤谐振器对准结构
原子物理
2009-11-13 v1
摘要
我们提出了一种新颖的方法，用于在原子芯片的平坦表面上以超高精度安装和对准基于光纤的谐振器。用于安装构成光纤谐振器的一对光纤的结构，是通过旋涂SU-8光刻胶技术并使用深紫外光刻制造的。讨论了SU-8结构的设计和制造。根据测量的精细度，我们计算出作为光纤拼接的SU-8结构的耦合损耗小于0.013 dB。
引用
@article{arxiv.physics/0608216,
title = {Fabrication of alignment structures for a fiber resonator by use of deep-ultraviolet lithography},
author = {X. Liu and K. -H. Brenner and M. Wilzbach and M. Schwarz and T. Fernholz and J. Schmiedmayer},
journal= {arXiv preprint arXiv:physics/0608216},
year = {2009}
}
备注
4 pages, 3 figures