利用紫外光刻基于SU-8聚合物光学通道纳米/微尺度厚度与宽度的可扩展性增强通道分辨率
应用物理
2017-08-24 v1 光学
摘要
本文报道了一种通过优化紫外光刻工艺制造具有纳米级厚度的微通道的方法。在涂有稀释SU-8薄膜亚微米层的硅片衬底表面制造了具有稳定边缘的矩形微通道。工艺参数的优化，包括两步预烘和后烘过程的持续时间、紫外曝光剂量以及最终具有恒定搅动的化学显影时间，产生了具有高对比度边缘且厚度低于100 nm的微通道。利用该方法实现的尺寸在亚微米光学波导和纳米机电系统(NEMS)器件中具有潜在应用。
引用
@article{arxiv.1708.06788,
title = {Channel resolution enhancement through scalability of nano/micro-scale thickness and width of SU-8 polymer based optical channels using UV lithography},
author = {Iraj S Amiri and Volker J. Sorger and M Ariannejad and M Ghasemi and P Yupapin},
journal= {arXiv preprint arXiv:1708.06788},
year = {2017}
}