SU-8 微流控器件性能量化：高液态水密封性、长期稳定性与真空兼容性
软凝聚态物质
2023-10-11 v1 材料科学
摘要
尽管历经数十年的发展，微流控仍缺乏一种可便捷加工、在高液态水压下密封、长期稳定且真空兼容的密封材料。本文报道了一种用于纳流控/微流控芯片制造的微尺度可加工密封材料的性能，其使我们得以满足上述所有要求。我们观察到，由 SU-8 光刻胶制成的微米级壁（其厚度可低至 35 m）在 1.5 bar 至 5.5 bar 范围内表现出液态水压力密封性，即便老化 2 个月后也无水渗透性，并能够在 mbar 真空下维持。因此，该密封材料在构建微芯片时可靠且通用，其中部分结构须在受压或真空下与液态水隔离。此外，我们提出的制造工艺无需使用腐蚀性化学品或高温或高能等离子体处理。这为在存在纳米材料等精细表面的微芯片密封开辟了新前景。
引用
@article{arxiv.2310.06472,
title = {Quantifying the performances of SU-8 microfluidic devices: high liquid water tightness, long-term stability, and vacuum compatibility},
author = {Said Pashayev and Romain Lhermerout and Christophe Roblin and Eric Alibert and Jérôme Barbat and Rudy Desgarceaux and Rémi Jelinek and Edouard Chauveau and Saïd Tahir and Vincent Jourdain and Rasim Jabbarov and Francois Henn and Adrien Noury},
journal= {arXiv preprint arXiv:2310.06472},
year = {2023}
}