用于光波前调控的光纤上3D结构纳米压印
光学
2016-08-24 v1
摘要
将复杂光子结构集成到光纤端面上可实现具有空前光学功能的强大平台。然而，由于传统纳米加工技术通量低、成本高，无法将复杂光子器件可行地集成到光纤上。本文报道了通过在光纤端面上直接纳米压印光刻(Nanoimprint Lithography)制备三维结构。专门开发了纳米压印工艺与工具，以实现高光刻精度以及光学器件相对于光纤纤芯的同轴对准。为展示该新方法的能力，设计、压印并光学表征了一个 3D 分束器。扫描电子显微镜与光学测量证实了所提方法的优异光刻能力以及压印结构所需的光学性能。此处提出的廉价解决方案应能在集成光学与传感等领域推动进展，实现光纤组件更高的便携性与多功能性。
引用
@article{arxiv.1605.06415,
title = {Nanoimprint of a 3D structure on an optical fiber for light wavefront manipulation},
author = {Giuseppe Calafiore and Alexander Koshelev and Frances I. Allen and Scott Dhuey and Simone Sassolini and Edward Wong and Paul Lum and Keiko Munechika and Stefano Cabrini},
journal= {arXiv preprint arXiv:1605.06415},
year = {2016}
}
备注
7 pages, 3 figures