利用紫外固化树脂的双光子光聚合制备光驱动微机械的微结构
光学
2009-11-13 v1
摘要
紫外固化树脂的双光子光聚合是一种有吸引力的方法，用于制造尺寸在几十微米范围内的微观透明物体。我们一直使用这种方法，在基于飞秒激光的光学系统中，为光学微操控生产三维结构。通过仔细调整激光功率和曝光时间，我们能够创建具有明确定义的三维特征且分辨率低于光衍射极限的微物体。我们讨论了微加工系统的性能和能力，并给出了一些其产品的示例。
引用
@article{arxiv.0810.5585,
title = {Fabrication of micro-structures for optically driven micromachines using two-photon photopolymerization of UV curing resins},
author = {Theodor Asavei and Timo A. Nieminen and Norman R. Heckenberg and Halina Rubinsztein-Dunlop},
journal= {arXiv preprint arXiv:0810.5585},
year = {2009}
}
备注
12 pages, 10 figures