利用空间分辨实验技术探测 AlN 薄膜中铒的占位
材料科学
2019-11-18 v1
摘要
本文通过射频磁控溅射制备铒掺杂氮化铝薄膜，结合扫描透射电子显微镜 X 射线面分布成像、常规透射电子显微镜与 X 射线衍射，对其进行了详尽的实验研究。该研究试图精确确定稀土原子在薄膜内及六方纤锌矿晶胞中的局域位置。研究表明，即便 x 达到 6 at.%，AlN:Erx 仍为固溶体，且未导致富铒相的析出。X 射线衍射测量辅以模拟表明，铒在 AlN 纤锌矿中的主要占位在整个范围内为金属替代位。它们还表明，纤锌矿的八面体位与四面体位在 [1.6–6%] 范围内也容纳 Er 离子。XRD 推论可对光致发光机制的理论机制作出某些解释，更具体地对其浓度淬灭作出解释。
引用
@article{arxiv.1911.06694,
title = {Erbium location into AlN films as probed by spatial resolution experimental techniques},
author = {Valerie Brien and Pascal Boulet},
journal= {arXiv preprint arXiv:1911.06694},
year = {2019}
}