阳极氧化铌纳米结构中的库仑阻塞效应
介观与纳米尺度物理
2009-10-30 v1 超导电性
摘要
利用电子束光刻和四层剥离掩模系统制备了铌薄膜导线，并通过阳极氧化进行减薄。在制备过程中原位监测导线的电阻，并通过控制阳极氧化电压进行微调。根据室温方块电阻的不同，样品在低温下表现出超导或绝缘行为。对于超过 6 千欧姆每方块的样品，观察到了库仑阻塞效应。还制备了具有单电子晶体管类似几何结构的样品，其中包含通过组合角度蒸发和阳极氧化形成的两个弱连接。其电流-电压特性可以通过施加在重叠栅极上的电压进行调制。
引用
@article{arxiv.cond-mat/9706302,
title = {Coulomb blockade effects in anodised niobium nanostructures},
author = {Torsten Henning and D. B. Haviland and P. Delsing},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/9706302},
year = {2009}
}
备注
15 pages, 10 EPS figures, LaTeX2e, to be published in Supercond. Sci. and Technol