具有微纳孔结构以提升近红外光效率的 CMOS 图像传感器：顶表面与底表面微孔对比
应用物理
2023-05-04 v1 光学
摘要
我们研究了可提高 CMOS 图像像素在可见光与红外波段光学效率的纳米与微结构。我们考虑了像素底部与顶部微孔之间的差异，以及由更小孔组成的孔结构。这些方案有助于简化制备工艺。我们研究了在相机配置中，像素的串扰和光学效率对光入射角与数值孔径的依赖性。
引用
@article{arxiv.2305.02314,
title = {CMOS image sensor with micro-nano holes to improve NIR optical efficiency: micro-holes on top surface vs on bottom},
author = {E. Ponizovskaya Devine and Ahasan Ahamad and Ahmed Mayet and Amita Rawat and Aly F Elrefaie and Toshishige Yamada and Shih-Yuan Wang and M Saif Islam},
journal= {arXiv preprint arXiv:2305.02314},
year = {2023}
}
备注
image sensors