具有纳米结构表面的MSM光电探测器的量子效率增强与反射降低
应用物理
2018-10-12 v2
摘要
光子捕获纳米结构有助于增强MSM光电探测器的量子效率并降低反射，从而实现波长800-950nm下的快速硅光电探测器。该由微孔构成的纳米结构可降低反射，并将垂直入射光弯折进入吸收层中的横向模式。
引用
@article{arxiv.1810.00945,
title = {Enhanced quantum efficiency and reduction of reflection for MSM photodetectors with nano-structured surface},
author = {Ekaterina Ponizovskaya Devine and Yang Gao and Cesar Perez and Toshishige Yamada and Aly F. Elrefaie and M. Saif Islam and Shih-Yuan Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1810.00945},
year = {2018}
}
备注
2 pages 1 figure. conference IEEE Photonics RAPID 2018