Si(100) 金属-氧化物-半导体晶体管中自旋共振条件下的电荷泵浦
应用物理
2020-08-28 v1
摘要
栅脉冲诱导的复合(称为电荷泵浦,CP)是一种基本的载流子复合过程,并已被用作分析晶体管界面处缺陷(或悬键)电学性质的方法,如今已被认为相当成熟且常规。然而,对于 Si 金属-氧化物-半导体(MOS)界面,导致 CP 的缺陷起源(键合构型)及其详细的复合序列迄今尚未阐明。为解决这些问题,我们在 27 至 300 K 温度范围内,于 Si(100) n 型 MOS 晶体管中研究了自旋共振条件下的 CP。我们获得证据表明,Si(100) 界面(及附近)的两种主要悬键 Pb0 和 E' 中心参与了 CP 复合过程。我们还表明,自旋依赖的 CP 过程可通过电子-电子自旋对的形成来解释,这反过来揭示了经由 Pb0 和 E' 中心的 CP 本质上是一个双电子过程。
引用
@article{arxiv.2008.11857,
title = {Charge pumping under spin resonance in Si(100) metal-oxide-semiconductor transistors},
author = {Masahiro Hori and Yukinori Ono},
journal= {arXiv preprint arXiv:2008.11857},
year = {2020}
}
备注
10 figures