用于 YSZ 薄膜喷墨沉积的水基金属-有机溶液
应用物理
2019-04-18 v1
摘要
通过设计一种用于按需滴落（DoD）喷墨打印的新型水基反应型墨水，实现了 8% Y2O3 稳定 ZrO2（YSZ）薄膜的喷墨打印。该墨水配方基于一种新颖化学策略，其由金属氧化物前驱体（锆醇盐与钇盐）、水以及亲核试剂即 N-甲基二乙醇胺（MDEA）组合而成。该化学体系形成具有长期墨水稳定性与高精密可打印性的金属-有机配合物。从溶液中金属-有机相互作用角度分析并控制了墨水流变学与化学反应性。通过低温煅烧处理（400–500 {\deg}C）获得了低于 150 nm 的致密纳米晶 YSZ 薄膜，使得该沉积适用于包括硅、玻璃与金属在内的多种基底。薄膜与打印图案实现完全致密化，无横向收缩且具高离子电导率。
引用
@article{arxiv.1904.08143,
title = {Aqueous metal-organic solutions for YSZ thin film inkjet deposition},
author = {C. Gadea and Q. Hanniet and A. Lesch and D. Marani and S. H. Jensen and V. Esposito},
journal= {arXiv preprint arXiv:1904.08143},
year = {2019}
}
备注
30 pages,6 figures, 2 tables, open access