一种新型无屈曲亚微米厚度大尺寸肋形微盘
光学
2022-10-24 v1
摘要
对于在可见光至紫外波长产生密集光谱微梳至关重要的薄型大尺寸微盘，在制造上面临挑战。最困难的问题之一是显著降低腔光学品质因子的屈曲效应。本工作引入了一种新型肋形盘结构，该结构显著减轻了屈曲效应。利用这种方法，我们获得了毫米级尺寸、无屈曲、亚微米厚度且光学品质因子超过 的微盘。
引用
@article{arxiv.2205.08006,
title = {A Novel Buckle-Free Large Rib Microdisk with Sub-Micron Thickness},
author = {Shahin Honari and Saeed Farajollahi and Tao Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2205.08006},
year = {2022}
}