零功耗化学传感器
应用物理
2020-08-17 v1
摘要
我们展示了批量制造、低功耗且高灵敏度的传感器。我们介绍了用于生物传感的批量制造侧壁刻蚀垂直纳米间隙隧穿结的设计、制备与表征。该器件由两块垂直堆叠的金电极组成，其间以部分刻蚀的 a-Si 和 SiO2 牺牲间隔层分隔。利用这些器件，我们通过测量跨纳米间隙形成的目标介导分子结的隧穿特性，展示了对某些有机分子的电学检测。
引用
@article{arxiv.2008.06385,
title = {Zero Power Chemical Sensors},
author = {Aishwaryadev Banerjee},
journal= {arXiv preprint arXiv:2008.06385},
year = {2020}
}
备注
arXiv admin note: substantial text overlap with arXiv:2006.12796