基于纳米间隙与化学-机械器件的化学传感
应用物理
2020-06-24 v1 化学物理
摘要
本文提出一类批量制备、低功耗且高灵敏度的化学电阻式传感器。我们首先展示用于生物传感的批量制备侧壁刻蚀垂直纳米间隙隧穿结的设计、制备与表征。利用这些器件，我们通过测量跨纳米间隙形成的目标介导分子结的隧穿特性，演示了对若干有机分子的电学检测。
引用
@article{arxiv.2006.12796,
title = {Chemical Sensing with Nanogap AND Chemi-mechanical Devices},
author = {Aishwaryadev Banerjee},
journal= {arXiv preprint arXiv:2006.12796},
year = {2020}
}