基于倒易空间矢量利用高分辨率 X 射线衍射法测定外延薄膜的晶胞
材料科学
2013-11-15 v1
摘要
本文开发了一种基于倒易空间矢量 (RSV) 的新方法，用于通过高分辨率 X 射线衍射法 (HR-XRD) 测定外延薄膜的 Bravais 晶格类型和精确晶格参数。以单晶衬底的晶格参数为参考，校正薄膜 RSV 的系统性实验误差。总结了通用流程，包括 RSV 校正、原始晶胞推导、随后通过矩阵计算转换为 Niggli 晶胞和 Bravais 晶胞。该流程的两种方法分别在三维倒易空间和六维 G6 空间中进行了描述。讨论了由该新方法导出的晶格参数的标准误差估计。通过实验数据示例对整个方法进行了说明。ITO（Indium tin oxide，氧化铟锡）薄膜晶格参数的最佳结果误差为 0.0006 \AA。这种新的 RSV 方法为外延薄膜的晶体结构研究提供了一条实用且简明的途径，也可应用于表面和界面结构的研究。
引用
@article{arxiv.1311.3382,
title = {Unit cell determination of epitaxial thin films based on reciprocal space vectors by high-resolution X-ray diffractometry},
author = {Ping Yang and Huajun Liu and Zuhuang Chen and Lang Chen and John Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1311.3382},
year = {2013}
}
备注
30 pages, 5 figures, accepted by Journal of Applied Crystallography