相干异质外延下邻晶面的台阶与台面分辨晶体截断杆散射
材料科学
2026-04-28 v1
摘要
我们发展了具有相干应变异质外延薄膜的邻晶面晶体截断杆散射的一般理论。该形式体系在统一描述中纳入了薄膜诱导的干涉条纹、完全弹性晶格畸变、台面有序化、表面重构以及实时生长演化。Nagai 模型与基于弹性的模型之间的比较表明，两种方法中的晶格倾斜几乎相同，而基于弹性的模型预测了由剪切应变引起的额外三斜变形。这种变形对镜面 CTR 影响不大，但强烈改变了非镜面杆，使其成为相干外延薄膜完全弹性状态的敏感探针。我们进一步表明，邻晶 CTR 对台面有序化、表面重构和台面分辨成分改性的特征敏感性在存在相干薄膜时依然稳健。InGaN/GaN 的代表性计算表明，该框架能够对静态和实时 CTR 测量进行定量解释，并提供异质外延生长过程中台阶与台面分辨的结构和动力学信息。
引用
@article{arxiv.2604.24604,
title = {Step- and terrace-resolved crystal truncation rod scattering from vicinal surfaces under coherent heteroepitaxy},
author = {Junlin Wu and Erqi Xu and Qihui Lin and Jiaqing Yue and Jiale Wang and Zihao Xu and Guangxu Ju},
journal= {arXiv preprint arXiv:2604.24604},
year = {2026}
}
备注
23 pages, 16 figrues