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表面X射线散射:粗糙度的离散和连续分量

统计力学 2009-11-11 v1 材料科学

摘要

非相干表面散射通过对许多独立采样体积的系综平均,提供了表面的统计描述。根据表面状态和散射矢量相对于表面法线的方向,高度分布是离散的、连续的,或两者的组合。我们提出了多峰表面高度分布对晶体截断棒散射影响的一种处理方法。多峰高度分布的影响在通过脉冲激光沉积原位监测逐层薄膜生长时尤为明显。我们将总高度分布建模为离散和连续分量的卷积,从而得到一种广泛适用的表面粗糙度参数化方法,该方法可应用于其他散射探针,如电子和中子。此类分布的卷积可能潜在地应用于界面或化学散射。在这里,我们发现这种分析准确地描述了我们对<001> SrTiO3退火和同质外延生长的实验研究。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0607249,
  title  = {X-ray scattering from surfaces: discrete and continuous components of roughness},
  author = {Darren Dale and Aaron Fleet and Y. Suzuki and J. D. Brock},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0607249},
  year   = {2009}
}

备注

15 pages, 7 figures