基于混合微波退火的 MTJ 超快退火工艺
材料科学
2025-02-19 v1
摘要
本文发现，使用混合微波退火可成功磁化磁隧道结（MTJ）结构，经隧道磁阻（TMR）和 矢量 coercivity（Hc）结果确认。混合微波退火可将 CoFeB 转化为单晶，并在 CoFeB 与 MgO 界面形成 Fe-O 键，无需额外磁性材料。退火时间显著缩短，从原来的 120 分钟缩减至仅 1 分钟，实现了 MTJ 结构的快速低温退火。TEM 结果用于确定 CoFeB 从无晶体到单晶的晶体结构变化，EELS 结果表明原子在 MTJ 结构中的扩散分布。这种混合退火工艺可显著节省制造时间，是当前 MRAM 制造工艺的高效替代方案。
关键词
引用
@article{arxiv.2502.12772,
title = {Ultrafast annealing process of MTJ using hybrid microwave annealing},
author = {Ming-Chun Hsu and Fan-Yun Chiu and Wei-Chi Aeneas Hsu and Chang-Shan Shen and Kun-Ping Huang and Tsun-Hsu Chang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2502.12772},
year = {2025}
}
备注
3 pages, 5 figures