基于半导体微管的三轴霍尔传感器
介观与纳米尺度物理
2014-01-29 v1 仪器与探测器
摘要
制备了一种基于GaAs/AlGaAs/InGaAs微管的三轴霍尔传感器。证明了使用这种传感器同时测量所有三个磁场分量的可能性。还证明了可以用聚二甲基硅氧烷封装传感器的悬空部分，以保护这些部分免受机械作用的影响。
引用
@article{arxiv.1401.7103,
title = {Three-axis Hall transducer based on semiconductor microtubes},
author = {Alexander Vorob'ev and Anton Chesnitskiy and Alexander Toropov and Victor Prinz},
journal= {arXiv preprint arXiv:1401.7103},
year = {2014}
}
备注
9 pages, 5 figures, 21 references