韩国 CMS 组面向 CMS 二期升级的大尺寸 GEM 箔批量生产技术
仪器与探测器
2023-10-18 v4
摘要
本研究介绍了韩国 CMS 组为 CMS 二期升级而开展的大尺寸 GEM 箔批量生产技术。箔片生产设施以批量生产为重点进行设计，包括采用双掩模技术。报道了一种使用单乙醇胺的聚酰亚胺湿法蚀刻技术，由于相比乙二胺吸入毒性更低，提供了更安全的工作环境。研究还涵盖了蚀刻液随时间的变性现象与重新调参过程。最后，讨论了利用热风焊接表面贴装电阻以加快生产的研发结果。
引用
@article{arxiv.2303.15302,
title = {Techniques for mass production of large-sized GEM foil by the Korean CMS group for CMS phase-2 upgrade},
author = {I. Yoon},
journal= {arXiv preprint arXiv:2303.15302},
year = {2023}
}
备注
Proceedings of MPGD 2022