利用激光刻蚀技术研制厚箔细间距气体电子倍增器
仪器与探测器
2010-01-07 v1
摘要
我们采用激光刻蚀技术制备了厚箔细间距气体电子倍增器(GEM)。为提高成品率，我们使用了一种新材料——液晶聚合物(Liquid Crystal Polymer)替代聚酰亚胺作为绝缘层。孔径为140微米、孔直径为70微米、厚度为100微米的厚箔GEM，在720 V工作电压下有效增益达到10^4。所测得的厚箔细间距GEM(80微米间距、40微米直径、100微米厚)的有效增益与厚箔GEM相似。对厚箔细间距GEM的增益稳定性进行了测量，结果显示，从施加高压开始，增益随时间没有显著增加或减少。3小时运行期间的增益稳定性约为0.5%。GEM的增益映射显示出良好的均匀性，标准偏差约为4%。GEM上孔直径的分布是均匀的，标准偏差约为3%。增益与孔直径映射之间没有明显的相关性。
引用
@article{arxiv.0910.0406,
title = {Development of Thick-foil and Fine-pitch GEMs with a Laser Etching Technique},
author = {T. Tamagawa and A. Hayato and F. Asami and K. Abe and S. Iwamoto and S. Nakamura and A. Hayato and T. Iwahashi and S. Konami and H. Hamagaki and Y. L. Yamaguchi and H. Tawara and K. Makishima},
journal= {arXiv preprint arXiv:0910.0406},
year = {2010}
}
备注
21 pages, 9 figures