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表面活性剂介导的Ti/Ni多层膜生长

材料科学 2015-03-18 v1

摘要

研究了表面活性剂介导的Ti/Ni多层膜的生长。这些多层膜采用不同吸附原子能量的离子束溅射制备。结果发现,当以Ag作为表面活性剂并在0.75 keV的离子能量下溅射时,界面粗糙度显著降低。另一方面,当离子能量增加到1 keV时,导致界面处混合增强,且未观察到Ag表面活性剂的明显效果。基于所得结果,讨论了吸附原子能量对表面活性剂介导生长机制的影响。

关键词

引用

@article{arxiv.1102.0688,
  title  = {Surfactant mediated growth of Ti/Ni multilayers},
  author = {Mukul Gupta and S. M. Amir and Ajay Gupta and Jochen Stahn},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1102.0688},
  year   = {2015}
}

备注

3 Pages, 3 Figures