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德仑纳纳米线的表面化学与电性质

材料科学 2007-05-23 v1

摘要

通过化学气相沉积合成具有 p- 和 n 掺杂的德仑纳纳米线,用于构筑互补型场效应晶体管。对其进行电输运和 X 射线光电子能谱数据测量,并与德仑纳线的表面化学性质相关,以阐明其对电性质的影响。发现由于水分子强烈结合于德仑纳线表面的 GeO2,导致大幅 hysteresis。观察到 p- 和 n 型德仑纳线在与表面氧化物之间界面态导致的不同氧化行为、hysteresis 特征以及费米能级被夹紧引起的反向能垛弯曲。使用 400℃ 以上真空退火处理以去除表面氧化物,消除德仑纳线 FET 中的 hysteresis。采用正己烷酰胺前体通过原子层沉积(ALD)在干净的德仑纳线表面生长的高介电常数 HfO2 薄膜,作为表面钝化的第一层效果良好。最后评估了纳米线径向方向的耗尽长度。结果表明,对于小直径纳米线,表面效应可能主导于其体性质。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0407186,
  title  = {Surface Chemistry and Electrical Properties of Germanium Nanowires},
  author = {Dunwei Wang and Ying-Lan Chang and Qian Wang and Jien Cao and Damon Farmer and Roy Gordon and Hongjie Dai},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0407186},
  year   = {2007}
}

备注

33 pages, 9 figures. J. Am. Chem. Soc. In press