Scifaro

中文

对流式加速度计的一阶热 Sigma-Delta 架构研究

其他计算机科学 2008-12-18 v1

作者: Pascal Nouet , Frédérick Mailly , Laurent Latorre , Pascal Nouet

在 arXiv 上查看 ↗ PDF ↗

摘要

本文提出了一种用于全集成对流惯性传感器的原创闭环调理方法的研究。该方法应用于采用标准 CMOS 技术制造的加速度计，并使用自对准体刻蚀步骤。利用传感器的热行为作为求和函数，构建了一阶 sigma-delta 调制器。这种“电 - 物理”调制器实现了信号的模数转换。此外，反馈方案应能改善传感器性能。

关键词

热 Sigma-Delta 架构对流式加速度计闭环调理惯性传感器 CMOS 技术模数转换电 - 物理调制器

引用

@article{arxiv.0805.0920,
  title  = {Study of First-Order Thermal Sigma-Delta Architecture for Convective Accelerometers},
  author = {Pascal Nouet and Frédérick Mailly and Laurent Latorre and Pascal Nouet},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0920},
  year   = {2008}
}

备注

Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)