微机械热加速度计综述
应用物理
2018-01-24 v1 信号处理
经典物理
摘要
基于热对流的微机电加速度计是一种相对较新的加速度传感器，它不需要实心检测质量，从而具有高通断冲击承受能力、低生产成本以及可与CMOS集成电路技术集成等独特优势。本文对热加速度传感器领域的研究、开发和当前趋势进行了全面综述，详细列举了此类器件的理论、操作、建模和数值模拟。回顾了已报道的不同类型和结构的热加速度计，重点介绍了关键设计、实现和性能方面。还讨论了用于制造此类传感器的材料和技术。此外，针对其他主要加速度计类型，提出了热加速度计的优势与挑战，随后概述了相关的信号调理电路和潜在应用。
引用
@article{arxiv.1801.07297,
title = {A Review of Micromachined Thermal Accelerometers},
author = {Rahul Mukherjee and Joydeep Basu and Pradip Mandal and Prasanta Kumar Guha},
journal= {arXiv preprint arXiv:1801.07297},
year = {2018}
}