电子热显微镜
材料科学
2015-05-13 v2
摘要
半导体电子学向更小尺度及相关更高功率密度的发展，带来了对新型高分辨率热显微镜技术的需求。传统热显微镜通过远场光学探测红外辐射进行，其分辨率受限于光波长。采用串行局域探针方法的近场和扫描探针显微镜可以超越这一限制，但牺牲了成像速度。正如发明电子显微镜是为了克服光学显微镜的分辨率限制一样，我们在此展示了一种利用电子显微镜克服红外热显微镜限制的热成像技术，且无需妥协成像速度。我们将这项新技术称为电子热显微镜，它通过探测纳米尺度岛阵列的液 - 固相变来解析温度，从而实时生成热图（在 16 微米^2 的视场内每秒拍摄 30 幅热图像）。实验演示得到了结合电学和热学建模的支持。
引用
@article{arxiv.0708.1522,
title = {Electron Thermal Microscopy},
author = {Todd Brintlinger and Yi Qi and Kamal H. Baloch and David Goldhaber-Gordon and John Cumings},
journal= {arXiv preprint arXiv:0708.1522},
year = {2015}
}
评论
1 PDF file, incl. 17 pages manuscript plus 6 pages Supplementary Discussion v2: Add corresponding author asterisk and acknowledgement