用于气体传感器的基于 GaAs 的微机械热板的设计与建模
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
现代气体传感器期望具备高灵敏度和低功耗特性。本文讨论了为气体传感器开发的基于砷化镓 (GaAs) 的新型微加工热转换器 (MTCs) 的设计、仿真与制造。金属氧化物气体传感器通常工作在高温模式下，这是指定气体分子与传感材料表面之间进行化学反应所必需的。要在 200 至 500 oC 范围内获得工作温度，需要低功耗。这些器件的高热隔离性解决了功耗问题，可通过设计悬空微机械热板来实现。机械稳定性和快速热响应是尤其重要且不可忽视的参数。这些特性可通过新的 GaAs 热转换器概念来实现。
引用
@article{arxiv.0802.3065,
title = {Design and Modeling of Micromechanical GaAs based Hot Plate for Gas Sensors},
author = {J. Jakovenko and M. Husak and T. Lalinskytfh and M. Drzik and G. Vanko},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3065},
year = {2008}
}
备注
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