一种 SOIMUMPs 惯性传感器与读出电荷放大器设计
仪器与探测器
2021-11-16 v1 信号处理
摘要
本文提出了一种基于差分电容的惯性加速度计的设计及版图后特性，其包含基于 MEMS 的机械传感元件和作为读出电路第一级的 CMOS 电荷放大器。机械传感器依据 SOIMUMPs 制造工艺技术设计，读出电路面向 AMS 0.35um 工艺。版图后仿真表明其具有 ±5G 动态范围、最大 1.58 kHz 带宽、0.077% 非线性和 10.5 uG/Hz^0.5 分辨率。读出电路电荷放大器为全差分结构，并采用带 CDS 的开关电容（SC）拓扑。
引用
@article{arxiv.2111.07880,
title = {Design of a SOIMUMPs Inertial Sensor and readout Charge Amplifier},
author = {Hélder Campos and Nuno Paulino and João F. Loureiro},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.07880},
year = {2021}
}