混合悬浮微执行器的静态吸合行为：仿真、建模与实验研究

本文提出了一种基于有限元分析和解析建模的系统性综合方法，用于研究混合悬浮微执行器中的静态吸合现象。基于拉格朗日形式体系，并得益于近期在细环间互感解析计算方面的进展，建立并开发了电磁悬浮微执行器的有限元模型。特别地，所开发的有限元模型使我们能够准确且高效地计算悬浮微物体内的感应涡流分布。同时，这一事实为建立解析模型提供了依据，其中感应涡流分布可由一个以圆形细环表示的电路来近似。进而，两种所开发的模型均可预测混合悬浮微执行器的静态吸合参数，而无需求解非线性微分方程。通过所开发的准有限元与解析模型获得的建模结果通过与实验结果对比得到了验证。