边缘电容的新模型及其在平行板静电微致动器控制中的应用

当分隔电极的间隙与动板的几何尺寸相当时，在静电平行板致动器的公式中必须考虑边缘场。即使在这种情况下，现有的公式往往导致复杂的数学模型，难以确定给定电压下动板的偏转，从而难以预测致动器控制所需的施加电压。本文提出了一种边缘场建模的新方法，其中边缘场效应被建模为串联电容器。数值模拟证明了该公式的适用性。基于该模型，利用输入到状态稳定（ISS）理论和反步状态反馈设计构建了一种鲁棒控制方案。通过稳定性分析和数值模拟，证明了使用该控制方案的系统的稳定性和性能。