基于自组装变形-扩散模型的三层应力纳米异质系统中点缺陷的时空再分布

构建了考虑自组装变形-扩散相互作用的三层应力纳米异质系统 GaAs/In$_x$Ga$_{1 - x}$As/GaAs 中点缺陷时空分布模型。在此模型框架下，计算了应力纳米异质系统 GaAs/In$_x$Ga$_{1 - x}$As/GaAs 中空位（间隙原子）的时空分布轮廓。结果表明，在稳态情况下（$t > 5\tau _d^{(2)}$），非均匀压缩中间层中的空位浓度相对于初始平均值 $N_{d0}^{(2)}$ 降低了 16%。