锐利颗粒喷砂处理的派热克斯玻璃与硅表面的标度特性
统计力学
2009-11-13 v1
摘要
利用锐利颗粒对脆性材料进行喷砂处理是许多工业过程中重要的制造技术。特别是对于微系统，该技术可制备特征尺寸低至几十微米的器件。该工艺的一个重要参数是喷砂后表面的粗糙度。本文研究了氧化铝颗粒轰击后派热克斯玻璃（Pyrex）和硅表面的标度特性。实验采用两种不同平均尺寸（分别为 和 ）的氧化铝颗粒，以法向入射方式轰击靶材。研究表明，所得表面具有多重分形特性。应用多重分形去趋势波动分析（MFDFA）确定了表面的奇异谱。该奇异谱不依赖于靶材材料或颗粒尺寸。我们确定了若干量化相关物理量的参数。我们认为，在小于 的尺度下，断裂过程占主导地位；而在大尺度下，长程关联导致了多重分形行为。
引用
@article{arxiv.0704.3546,
title = {Scaling properties of pyrex and silicon surfaces blasted with sharp particles},
author = {Z. Moktadir and H. Wensink and M. Kraft},
journal= {arXiv preprint arXiv:0704.3546},
year = {2009}
}