用于诱导载流子微波测量的电阻负载共面波导
介观与纳米尺度物理
2024-06-19 v2
摘要
我们描述了一种槽缝填充电阻膜的共面波导，即电阻负载共面波导(RLCPW)，用于测量二维电子系统(2DES)。施加于承载2DES的样品上的RLCPW提供均匀金属表面作为栅极，以控制2DES的面电荷密度。作为该技术的演示，我们给出了在Si MOSFET上的测量，以及一个成功将微波传输系数转换为电容耦合到RLCPW附近的2DES电导率的模型。我们还描述了制备RLCPW所需高电阻金属膜的工艺。
引用
@article{arxiv.2201.02669,
title = {Resistively loaded coplanar waveguide for microwave measurements of induced carriers},
author = {M. L. Freeman and Tzu-Ming Lu and L. W. Engel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2201.02669},
year = {2024}
}