亚微米宽超导共面波导谐振器的功率处理能力和响应度
超导电性
2012-06-05 v1 仪器与探测器
摘要
基于共面波导（CPW）的微波动力学电感探测器（MKIDs）的灵敏度需要提高至少一个数量级，才能满足空间基太赫兹天文学的要求。我们的目标是研究是否可以通过将 CPW 的宽度减小到远低于通常使用光学光刻制造的宽度（> 1 μm）来实现这一点。我们使用电子束光刻和反应离子刻蚀在 NbTiN 中制造了中心线宽窄至 300 nm 的 CPW 谐振器。在对不同宽度的四分之一波长 CPW 谐振器进行的系统研究中表明，响应度、噪声和功率处理能力随宽度的变化行为一直持续到 300 nm。这鼓励了使用铝开发窄 KIDs 以提高其灵敏度。
引用
@article{arxiv.1206.0579,
title = {Power Handling and Responsivity of Submicron Wide Superconducting Coplanar Waveguide Resonators},
author = {R. M. J. Janssen and A. Endo and J. J. A. Baselmans and P. J. de Visser and R. Barends and T. M. Klapwijk},
journal= {arXiv preprint arXiv:1206.0579},
year = {2012}
}
备注
6 pages, 3 figures