电路QED量子处理器中共面波导谐振腔的制备后频率微调

我们展示了使用接地空气桥阵列在制备后微调微波共面波导（CPW）谐振腔的频率。该方法与常规CPW空气桥和交叉的制备步骤兼容，并通过以$100~\mathrm{MHz}$范围和$10~\mathrm{MHz}$分辨率补偿设计与制备不确定性来提高器件良率。我们展示了在电路QED中的两个应用。其一是消除旨在通过频分复用读取不同transmon的谐振腔之间的频率拥挤。其二是读取谐振腔与Purcell滤波谐振腔对的频率匹配。将此匹配与通过激光退火的transmon频率微调相结合，可在17-transmon量子处理器中可靠实现快速高保真读取。