具有理想频率间隔与极低频率碰撞率的超导微谐振器阵列
仪器与探测器
2017-11-22 v1 超导电性
摘要
我们提出了一种晶圆修整技术，用于制备具有高度均匀频率间隔的超导微谐振器阵列。利用先前演示的发光二极管（LED）映射技术，我们首先将测得的谐振频率映射到物理谐振器上。然后，通过光刻修整从交指电容上切除一小段长度（由测得频率相对设计值的偏差计算得出），对每个谐振器的频率进行微调。我们在一由氮化钛（TiN）制成的127谐振器阵列上演示了该技术，并显示频率间隔的均匀性得到极大改善。就频率碰撞而言的阵列良率从84%提升至97%，而品质因数与噪声特性不受影响。该晶圆修整技术提供了一种易于实现的工具，可提高大型谐振器阵列的良率与复用密度，这对光子探测与量子计算中的多种应用十分重要。
引用
@article{arxiv.1711.07914,
title = {Superconducting micro-resonator arrays with ideal frequency spacing and extremely low frequency collision rate},
author = {X. Liu and W. Guo and Y. Wang and M. Dai and L. F. Wei and B. Dober and C. McKenney and G. C. Hilton and J. Hubmayr and J. E. Austermann and J. N. Ullom and J. Gao and M. R. Vissers},
journal= {arXiv preprint arXiv:1711.07914},
year = {2017}
}
备注
5 pages,4 figures