理解与最小化4英寸千像素动力学电感探测器阵列的谐振频率偏差

动力学电感探测器（KID）的优势之一是其固有的频域复用能力。然而，制造缺陷通常会导致谐振频率偏差，从而产生频率碰撞并限制阵列良率。本文利用光学映射研究了一个4英寸千像素集总元件动力学电感探测器（LEKID）阵列的谐振频率偏差。利用测得的谐振器尺寸和薄膜厚度，分数偏差可在 $\pm 25\times 10^{-3}$ 内得到解释，而残余偏差源于电学薄膜特性的变化。利用电容修整技术，分数偏差降低了14倍。修整工艺的良率被发现为97%。在110~K背景温度下测得的映射良率从69%提高到76%，在更新我们的读出系统后可进一步提高到81%。随着良率的提升，电容修整技术可能有益于未来的大尺寸LEKID阵列。