用于精确 LiDAR 的超低损耗螺旋共振器
光学
2024-07-30 v1 应用物理
摘要
扫频激光干涉测量是嵌入在几项最新技术中的强大解决方案，包括绝对距离测量、光学探测与制导、光学频域反射测量、光学相干断层扫描、微型共振器表征以及气体光谱。可调激光扫频中的非线性性是获得这些技术预期结果的致命缺陷。本文引入一种集成在芯片上的毫米尺度 7 米螺旋共振器，其由超低损耗硅氮化物制成，用作频率尺来纠正可调激光扫频非线性。该 85 MHz 高品质共振器的锐利 2 MHz 频率线和 7 米螺旋的狭窄间隔 25.57 MHz 频率标记，使在集成光子平台上实现了前所未有的精确非线性校正。对频率尺频率间距、线宽及温度和波长敏感性的准确测量在此演示了频率尺的质量。此外，螺旋共振器被实现在 FMCW LiDAR 实验中，以演示所提出的集成频率尺的潜在应用。
关键词
引用
@article{arxiv.2407.19360,
title = {Ultralow-loss spiral resonators for precise LiDAR},
author = {Osama Terra and Warren Jin and Hussein Kotb and Joel Guo and John E. Bowers},
journal= {arXiv preprint arXiv:2407.19360},
year = {2024}
}
备注
12 pages