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脉冲激光合成介孔金属硫化物薄膜

材料科学 2025-08-26 v1 等离子体物理

摘要

在氩气背景下利用KrF脉冲激光沉积(PLD)方法生长了金属硫化物 β\beta-FeSe 的介孔薄膜。在 100 mTorr 时,阀控增强式charge-coupled设备成像和离子探针测量显示,负责晶体生长的等离子体柱初期由三个组成部分构成,具有不同的膨胀速度。等离子体柱与基片加热器以及 ablation 靶之间的相互作用导致复杂的动力学,包括带电前沿在基片与靶之间反弹,以及柱内部较慢运动物种的碰撞。薄膜生长主要由动能小于或等于 0.5 eV/atom 的物种主导。X射线反射率和原子力显微镜显示,在基片温度为 350<sup><sup>\circ</sup>C、激光能密度为 1.0 J cm2^{-2}、斑面积为 7.5 mm2^2 的环境下生长的薄膜形成了 15% 孔隙率、孔径小于 100 nm 的多孔框架。X射线衍射表明,这些多孔薄膜相对于基片具有单晶取向,可能通过气相分子簇或非常小的纳米颗粒的取向黏附生长,与从原子构件在真空薄膜中的常规单晶生长不同。介孔薄膜的横向取向为 β\beta-FeSe[100]\parallel[110]MgO,归因于在 MgO 基片上预形成晶粒的软着陆,其中 β\beta-FeSe 的伸出 Se 行与 MgO 表面的凹凸排列。本工作表明,通过 PLD 在惰性气体背景下生长电催化材料候选物,可能允许形成具有单一晶体取向的多孔框架,以暴露特定晶面进行电化学反应和活性位点工程。

引用

@article{arxiv.2508.17443,
  title  = {Pulsed laser synthesis of mesoporous metal chalcogenide thin films},
  author = {Dorien E. Carpenter and Zahra Nasiri and Nithesh R. Palagiri and Kamron L. Strickland and Sumner B. Harris and David B. Geohegan and Renato P. Camata},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2508.17443},
  year   = {2025}
}