薄膜异质结构中折射率的精确测量

我们提出了一种稳健、精确且准确的方法，用于同时测量干涉涂层中两种透明材料的折射率。这是通过测量光通量精确透射光谱和薄膜多层结构的原生长各层厚度来实现的。这些测量用于基于 TMM 的曲线拟合程序，其通过蒙特卡洛型误差传播提取折射率及其测量不确定度。我们通过实验测量外延分布布拉格反射镜中存在的 GaAs 和 Al$_{0.929}$Ga$_{0.071}$As 的折射率来展示该方法性能。可使用多种设备获取透射光谱（如 FTIR、基于光栅的分光光度计）和层厚度（如 SEM、TEM、AFM），所讨论的方法几乎可适应任意波长区域和许多感兴趣的透明材料组合。随后的模型拟合方法对两种材料的折射率值给出了具有 $10^{-4}$ 量级不确定度的结果。