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弹性中红外光散射用于内吸杂工艺检测的可能性

材料科学 2015-01-13 v2 介观与纳米尺度物理光学

作者: O. V. Astafiev , A. N. Buzynin , V. P. Kalinushkin , D. I. Murin , V. A. Yuryev

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摘要

研究表明，低角度中红外光散射方法可用于CZ硅晶体中内吸杂过程的非接触式、无损检测。本文给出了初始晶体和经过吸杂工艺处理的晶体中散射不均匀性的分类。

关键词

中红外光散射内吸杂 CZ硅无损检测散射不均匀性

引用

@article{arxiv.1008.4534,
  title  = {Possibilities of application of elastic mid-IR light scattering for inspection of internal gettering operations},
  author = {O. V. Astafiev and A. N. Buzynin and V. P. Kalinushkin and D. I. Murin and V. A. Yuryev},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1008.4534},
  year   = {2015}
}

备注

DRIP-VI; unlikely to be available elsewhere