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弹性中红外光散射在内吸杂工艺检测中的应用

材料科学 2011-06-07 v1 光学

作者: O. V. Astafiev , A. N. Buzynin , V. P. Kalinushkin , V. A. Yuryev

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摘要

近年来，内吸杂工艺已成为直拉硅半导体器件制造中的主要工序之一。然而，迄今为止，直接检测内吸杂效率和稳定性的方法几乎不存在。本文旨在介绍一种基于低角度中红外光散射技术（LALS）开发的方法，该方法迄今已成功应用于半导体晶体中大规模电活性缺陷聚集体（LSDAs）的研究。

关键词

内吸杂中红外光散射低角度光散射半导体器件直拉硅电活性缺陷聚集体检测方法

引用

@article{arxiv.1106.1128,
  title  = {Application of elastic mid-IR light scattering for inspection of internal gettering operations},
  author = {O. V. Astafiev and A. N. Buzynin and V. P. Kalinushkin and V. A. Yuryev},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1106.1128},
  year   = {2011}
}

备注

Silicon'96, Roznov pod Radhostem, Czech Republic, 5-8 November 1996