光源中最优分布式波长控制
系统与控制
2024-11-19 v2 系统与控制
最优化与控制
摘要
脉冲光源是现代光刻中的关键组件，对光束波长控制精度至关重要。我们将波长控制建模为存在时间延迟的分布式线性二次高斯（LQG）问题。具体而言，我们考虑用于生成所需波长的多光学模块（光学和执行器）作为定义在有向无环图（DAG）上的协同互动系统。我们表明，任何测量和其他连续时间延迟都可以被精确补偿， resulting 的最优控制器在individual optics层面上 outperform 任何现有的波长控制技术。
引用
@article{arxiv.2409.04721,
title = {Optimal decentralized wavelength control in light sources for lithography},
author = {Mruganka Kashyap},
journal= {arXiv preprint arXiv:2409.04721},
year = {2024}
}