关于电子背散射衍射在镁中的空间分辨率
材料科学
2019-06-25 v1 应用物理
摘要
我们测量了纯镁和钨情况下电子背散射衍射（EBSD）技术的物理横向分辨率。空间分辨率除其他参数外，显著依赖于加速电压和材料的原子序数。对于较轻金属，在给定加速电压下其分辨率应低于较重金属的情况。本工作中，横向分辨率是作为加速电压的函数在一条直的高角晶界上测量的，该晶界平行于（水平晶界）和垂直于（垂直晶界）样品的倾斜轴放置。对于镁，在5 kV加速电压下获得了240 nm的最佳横向分辨率。当电压从15 kV增加到30 kV时，分辨率急剧恶化至高达3500 nm。水平与垂直横向分辨率的比值在5 kV加速电压下趋于1.0，在30 kV加速电压下趋于2.5。这些作为加速电压函数的值与在高原子序数金属钨上获得的值进行了比较。在5 kV下钨的分辨率约为镁的四分之一。随着电压升高，该值几乎不变。在所有电压下分辨率比值都保持在1.0附近。
引用
@article{arxiv.1906.10055,
title = {On the spatial resolution of EBSD in magnesium},
author = {Abhishek Tripathi and Stefan Zaefferer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1906.10055},
year = {2019}
}