TrueEBSD：校正电子背散射衍射图中的空间畸变
材料科学
2020-09-01 v2
摘要
扫描电子显微镜中的电子背散射衍射 (EBSD) 常用于多晶材料的微观结构表征。EBSD 数据图通常在高样品倾角和慢扫描速度下采集，导致倾斜与漂移畸变，从而掩盖或扭曲最终微观结构图中的特征。在本文中，我们描述 TrueEBSD，一种具有像素级精度的畸变校正自动后处理流程。利用中间图像分离倾斜与漂移畸变分量，并将各自拟合到物理知情的畸变模型。我们在三个案例研究（钛、锆以及含氢化物的 Zr）上演示 TrueEBSD，其中畸变消除使得原本不可达的微观结构特征得以表征。
引用
@article{arxiv.1909.00347,
title = {TrueEBSD: correcting spatial distortions in electron backscatter diffraction maps},
author = {Vivian Tong and Thomas Benjamin Britton},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.00347},
year = {2020}
}
备注
Resubmission after one round of peer review