薄膜铌酸锂上集成的阵列波导光栅
光学
2023-05-30 v1
摘要
我们设计了一款片上 8 通道 TFLN AWG（薄膜铌酸锂阵列波导光栅），并采用光刻辅助化学机械抛光（PLACE）技术制备该器件。我们在 1550 nm 中心波长附近对制备的 TFLN AWG 的传输特性进行了实验测量。获得低至 3.32 dB 的片上损耗、1.6 nm 的单通道带宽和 12.8 nm 的总通道带宽。在 1543 nm 至 1558 nm 波长范围内，相邻通道串扰低于 -7.01 dB，非相邻通道串扰低于 -15 dB。
引用
@article{arxiv.2305.18059,
title = {On-chip arrayed waveguide grating fabricated on thin film lithium niobate},
author = {Zhe Wang and Zhiwei Fang and Zhaoxiang Liu and Youting Liang and Jian Liu and Jianping Yu and Ting Huang and Yuan Zhou and Haisu Zhang and Min Wang and Ya Cheng},
journal= {arXiv preprint arXiv:2305.18059},
year = {2023}
}